真空補(bǔ)氣裝置主要是針對實(shí)驗(yàn)室及各種環(huán)境下所需要的模擬氣體成分。依據(jù)比例自行設(shè)置混合輸出的裝置。主要核心部件為質(zhì)量流量控制器，利用其高精度、高準(zhǔn)確性的特點(diǎn)，準(zhǔn)確控制各個氣體組成成分的輸入量，經(jīng)由專業(yè)設(shè)計(jì)及生產(chǎn)的混氣腔室后輸出。

 

　　真空補(bǔ)氣裝置具有自適應(yīng)性，能夠?qū)υO(shè)定值更改做出快速響應(yīng)而不會超調(diào)，穩(wěn)定的、可復(fù)制的、動態(tài)特性能進(jìn)行流量分配，溫度和壓力的變化對流量數(shù)值的影響較小，準(zhǔn)確的溫壓修正，保證了整個產(chǎn)品的線性度非常好。能耐各類惰性或／和強(qiáng)腐蝕性氣體以及各類易揮發(fā)性液體，氣體管路防腐蝕、防吸附。

 

　　核心控制單元的部件為原裝產(chǎn)品，無可移動機(jī)械結(jié)構(gòu)，減少了機(jī)械干擾，抗振性能強(qiáng)?？垢蓴_性強(qiáng)，不受背景氣影響，氣體無交叉干擾。新型混合氣室，一體化設(shè)計(jì)及量程匹配技術(shù)，保證氣體能有效快速的充分混合。

 

　　設(shè)備具有運(yùn)行穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡單，無易損件，維護(hù)成本低等特點(diǎn)。操作簡單十分簡單，用戶需在觸摸屏上設(shè)置所需要的濃度、流量即可。能夠在短時(shí)內(nèi)有足夠大的流量氣體輸出同時(shí)保證精度，配出的氣體能夠全部利用，無浪費(fèi)，能夠大限度的節(jié)約資源。

 

　　無損檢測，壽命長，精度高，檢測準(zhǔn)確。集成溫度補(bǔ)償，不受環(huán)境溫度變化影響。分辨率高，響應(yīng)時(shí)間短，*的快速吹掃流程，氣壓、流量均無影響。溫度、壓力自動補(bǔ)償、響應(yīng)速度快、專用微處理器、多級密碼保護(hù)，斷電數(shù)據(jù)不丟失。